Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник
От производителя
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающимся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" и "Электронные приборы", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
До 04.02.2025 рецензию прочитали 1478 раз (0,71 просмотра в день)
До 15.09.2026 рецензию прочитали 1753 раза (0,66 просмотра вдень)