Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология
От производителя
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
30 декабря 2025 в 16:04
54
26 декабря 2025 в 23:00
71
26 декабря 2025 в 17:50
68
26 декабря 2025 в 14:14
80
26 декабря 2025 в 12:59
81
25 декабря 2025 в 19:49
78
25 декабря 2025 в 16:39
79
24 декабря 2025 в 17:27
77
24 декабря 2025 в 16:55
82
24 декабря 2025 в 16:17
124
Никто пока не комментировал эту страницу.